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產(chǎn)品中心掃描電子顯微鏡柜式掃描電子顯微鏡JSM-IT200掃描電子顯微鏡
更新時(shí)間：2026-03-12
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產(chǎn)品分類(lèi)
JSM-IT200掃描電子顯微鏡
■ 主窗口 ーZ e r o m a g 觀察ー
使用主窗口顯示的樣品架示意圖和光學(xué)C C D 圖像 *1 ，能尋找視野和定位 分析位置。
■ 顯示譜圖和顯示元素 顯示譜圖和顯示元素 ーLive Analysis 分析 *2 ー
通過(guò)顯示譜圖和顯示元素，能確認(rèn)正在觀察中的視野的譜圖及主要元素。
■ 數(shù)據(jù)管理圖標(biāo) 數(shù)據(jù)管理圖標(biāo) ーSMILE VIEW
T M
L a b 數(shù)據(jù)集中管理ー按下數(shù)據(jù)管理圖標(biāo)并顯示數(shù)據(jù)管理窗口后，從 S E M 圖像到分析，對(duì)全部數(shù)據(jù)能創(chuàng)建批量報(bào)告、
查看數(shù)據(jù)并重新分析數(shù)據(jù)。
J S M - I T 2 0 0 在完成樣品交換的同時(shí)，開(kāi)始觀察需要的視野。
按照導(dǎo)航流程操作，也可以安全、方便、可靠地交換樣品。
■ 樣品交換導(dǎo)航
樣品交換導(dǎo)航是從打開(kāi)樣品室到開(kāi)始觀察過(guò)程中進(jìn)行導(dǎo)航的功能。
■ Zeromag
只需擴(kuò)大光學(xué)圖像，就可以過(guò)渡到 S E M 圖像
Z e r o m a g 功能將與樣品臺(tái)位置關(guān)聯(lián)的樣品架示意圖、C C D 圖像 * （光學(xué)圖像）和S E M 圖像實(shí)現(xiàn)了聯(lián)動(dòng)?？梢灾庇^地尋找分析區(qū)域，只需放大光學(xué)圖像就可以過(guò)渡到S E M 圖像，因而能防止弄錯(cuò)觀察目標(biāo)和樣品。
Zeromag 的特長(zhǎng)
?能象用光鏡一樣直觀地移動(dòng)視野
?可以預(yù)約多個(gè)分析區(qū)域的測(cè)試
?可以輕松回溯到已測(cè)試完的區(qū)域
Live Analysis
S E M 觀察過(guò)程中始終顯示元素分析結(jié)果
利用Live A n a ly s i s 功能，可以不必再分別考慮S E M 觀察和E D S 分析。在觀察窗口上可以隨時(shí)顯示分析區(qū)域內(nèi)的特征X射線譜圖和自動(dòng)定性的主要構(gòu)成元素名稱(chēng)，還可以發(fā)現(xiàn)感興趣的元素和一些意想不到的元素。
Live Analysis 的特長(zhǎng)
?始終顯示特征X射線譜圖
?通過(guò)顯示樣品的主要構(gòu)成元素幫助發(fā)現(xiàn)意想不到的元素。
?對(duì)感興趣元素的標(biāo)注“Alert”
利用SEM觀察窗口上配置的全域/區(qū)域面分布圖圖標(biāo)能獲取整個(gè)觀察區(qū)域或需要區(qū)域的元素面分布圖。
可利用數(shù)據(jù)管理軟件 SMILE VIEWTM Lab 對(duì)采集的數(shù)據(jù)（如用譜圖、元素面分布圖、線分析對(duì)元素的再定位等）進(jìn)行各種分析。
● 實(shí)時(shí) 凈計(jì)數(shù)面分布圖／定量面分布圖
對(duì)每個(gè)像素點(diǎn)的譜峰進(jìn)行分離，顯示消除了臨近峰影響的元素面分布圖。對(duì)凈計(jì)數(shù)面分布圖進(jìn)一步校正計(jì)算，還有用定量值顯示的定量面分布圖。
● 強(qiáng)度面分布圖和凈計(jì)數(shù)面分布圖
Pb-Mα (2.342 keV)的譜峰 和Bi-Mα (2.419 keV) 的譜峰很接近，在強(qiáng)度面分布圖中很難把Bi和Pb的峰*分開(kāi)。通過(guò)顯示凈計(jì)數(shù)面分布圖，可以確認(rèn)Bi元素原有的分布。
JSM-IT200掃描電子顯微鏡技術(shù)規(guī)格
| 設(shè)備型號(hào) | IT200 | |
|---|---|---|
| 基本性能 | 二次電子像分辨率 | 3 nm (30 kV, 高真空) 8 nm (3 kV, 高真空) 15 nm (1 kV, 高真空) |
| 背散射電子像分辨率 | 4.0 nm (30 kV, 高真空) | |
| 加速電壓 | 0.5 to 30kV | |
| 放大倍數(shù) | 5x to 300,000x | |
| EDS 分析 | 電制冷方式Dry SDD extra detector (不用液氮) | |
| EDS 分析位置: WD 10 mm, 取出角 35 度 | ||
| 電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | 工廠預(yù)對(duì)中燈絲 |
| 電子槍偏壓 | 無(wú)縫式自偏壓 | |
| 聚光鏡 | 可變焦聚光鏡 | |
| 物鏡 | 超級(jí)圓錐形物鏡 | |
| 物鏡光闌 | 3段式可動(dòng)(帶XY軸微調(diào)) | |
| 像散存儲(chǔ)器 | 內(nèi)置 | |
| 圖像移動(dòng) | ±50μm（WD 10 mm） | |
| 探測(cè)器 | 二次電子探測(cè)器 | |
| 高靈敏度半導(dǎo)體型背散射電子探測(cè)器 | ||
| 自動(dòng)化功能 | 自動(dòng)燈絲加熱 | 內(nèi)置 |
| 自動(dòng)槍對(duì)中 | 內(nèi)置 | |
| 自動(dòng)聚焦 | 內(nèi)置 | |
| 自動(dòng)消像散 | 內(nèi)置 | |
| 自動(dòng)亮度和對(duì)比度調(diào)整 | 內(nèi)置 | |
| 樣品室 | 最大樣品尺寸 | 150 mm （直徑） |
| 可支持的選購(gòu)附件 | EDS, WDS, EBSD, CLD, SHIC, SCU, Raman | |
| 樣品臺(tái) | X | 0 ~ 80 mm |
| Y | 0 ~ 40 mm | |
| Z | 5 ~ 48 mm | |
| R | 360 度 | |
| T | -10 ~ 90 度 | |
| 最大視野范圍 | 127 mm （直徑） | |
| 最大樣品高度 | 48 mm | |
| 馬達(dá)驅(qū)動(dòng) | 2 (X, Y) | |
| 圖像顯示系統(tǒng) | PC?OS | Windows®10 |
| 顯示器 | 24” LCD | |
| 圖像存儲(chǔ)像素 | 320x240, 640x480, 1280x960, 2560x1920, 5120x3840 pixels | |
| 圖像保存格式 | Format: BMP, TIFF, JPEG | |
| 操作系統(tǒng) | 操作導(dǎo)航器
| 位于顯示屏下端的操作導(dǎo)航器可控制以下功能:用戶管理, 樣品交換, 菜單, 成像, 打印, 參數(shù)設(shè)定, 維護(hù) |
| 測(cè)量功能 | 平行線間距測(cè)量 | 垂直, 水平, 對(duì)角 |
| 2點(diǎn)之間距離測(cè)量 | 任意2點(diǎn)間距離 | |
| 圓的測(cè)量 | 直徑, 2個(gè)圓中心間距離 | |
| 角度測(cè)量 | 角度 | |
| 面積測(cè)量 | 圓和多角形 | |
| 計(jì)數(shù) | 顆粒統(tǒng)計(jì) | |
| 真空系統(tǒng) | 類(lèi)型 | 全自動(dòng)抽真空系統(tǒng) |
| 油擴(kuò)散泵 | 420 升/秒 | |
| 機(jī)械泵 | 100 升/秒: 1 (6510/A), 2 (6510LV/LA) | |
| 外觀 | 基本單元尺寸 | 750 mm (橫) x 1,000 mm (縱) x 1,445 mm (高) |
| 基本單元重量 | 325 公斤 | |
| 安裝要求 | 室溫 | 20 ± 5℃ |
| 濕度: | 低于60% | |
| 供電 | 單相 AC100 V, 50/60 Hz, 3 kVA | |
E DS 適用于A（Analysis）和LA（Low V a c u u m &Analysis）配置。
主要技術(shù)規(guī)格
|
|
| Basic（標(biāo)配） | Standard |
| SEM 集成化 | SEM 控制軟件內(nèi)置 | ● | ● |
| 觀察/分析數(shù)據(jù)的集中管理 | |||
| 在SEM 操作窗口上定位分析位置（從SEM的 GUI上直接分析) | |||
| 分析位置的圖形顯示 | |||
| 檢測(cè)器 | SDD 類(lèi)型 | 參照檢測(cè)器列表 | |
| 譜圖分析 | 定性分析（譜峰鑒別、自動(dòng)定性） | ● | ● |
| Visual Peak ID | |||
| 無(wú)標(biāo)樣定量分析（ZAF 法） | |||
| 標(biāo)樣定量分析（ZAF 法） *4 |
| ● | |
| PHI-RHO-Z(PRZ) 法定量校正法 | |||
| 線分析 | 線分析（水平、任意方向 | ● | ● |
| 元素面分布圖 | 元素面分布圖（多色顯示、單色顯示、多色合成 | ● | ● |
| 最大分辨率 4 , 0 9 6 × 3 , 0 7 2 | |||
| 實(shí)時(shí)彈出譜 | |||
| 譜峰分離圖 （凈計(jì)數(shù)面分布圖、定量面分布圖） | |||
| 實(shí)時(shí)凈計(jì)數(shù)面分布圖 | |||
| 實(shí)時(shí)過(guò)濾器 | |||
| 濃度分布曲線 | |||
| 電子束追蹤 | |||
| 連續(xù)分析 | 譜圖分析、線分析、元素面分布 | ● | ● |
| 測(cè)試完的數(shù)據(jù)的統(tǒng)一分析（定性、定量） | |||
| 蒙太奇功能 | 自動(dòng)制作蒙太奇（SEM 圖像、元素面分布圖） | ● | ● |
| 多區(qū)域連續(xù)元素面分布圖 | |||
| 顆粒度分析軟件 | 顆粒度分析 （自動(dòng) / 手動(dòng)）＆EDS 分析 | ○ | ○ |
| 顆粒度分析數(shù)據(jù)的分類(lèi)功能 | |||
| 圖形顯示顆粒度分析數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)處理 | |||
| 大區(qū)域的連續(xù)顆粒度分析 ＆ EDS 分析 | |||
| 樣品臺(tái)導(dǎo)航系統(tǒng)上設(shè)定測(cè)試范圍 | |||
| 數(shù)據(jù)管理功能和生成報(bào)告 | SMILE VIEW TM Lab | ● | ● |
| 幫助功能 | 幫助導(dǎo)航 | ● | ● |
| 離線功能 | 與設(shè)備主機(jī)獨(dú)立的PC 上可以解析數(shù)據(jù)的離線軟件 | ○ | ○ |
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